摘要:
热界面材料技术是三维系统级封装中的关键技术。文章采用新型定向生长碳纳米管阵列方法制备了热界
面材料,并研究了其导热性能。实验结果表明,通过采用 50/100/100 nm 厚的 Ti/Ni/Au 金属层和 Sn64Bi35Ag1 导
热焊料,可成功实现碳纳米管阵列的 100% 转移;通过热释放胶带(Nitto Denko,Part Number: #3198MS)可获得
悬浮碳纳米管阵列。文章还通过 LFA 447 激光导热仪分别测量了热界面材料在 25℃、75℃ 和 125℃ 下的热扩散
系数,并计算了其表观热导率,还进行了热循环可靠性测试。结果表明,所选用碳纳米管阵列的表观热导率高于
42 W/(m·K),200 次热循环后的表观热导率高于 41 W/(m·K);转移后的碳纳米管阵列的表观热导率高于 28 W/
(m·K),200 次热循环后仍高于 24 W/(m·K)。